Laboratorium Clean Room

Laboratorium Clean Room jest zlokalizowane w pomieszczeniach o klasie ISO 5 oraz ISO 6.

Główne techniki rozwijane i wdrażane w laboratorium to litografia optyczna i elektronowa, wytwarzanie warstw metalicznych i dielektrycznych oraz wytrawiania mokre i plazmowe. Naszą ambicją jest rozwój kompetencji w  wytwarzaniu cienkich warstw metodą osadzania warstw atomowych. Laboratorium posiada pełną zdolność do analizy i walidacji struktur wytworzonych mikrokomponentów.

Kontakt: zapytania@port.lukasiewicz.gov.pl 

  • Wytwarzanie cienkich warstw:
    • Wytwarzanie warstw dielektrycznych i przewodzących (napylanie, rozpylanie magnetronowe, PECVD)
    • Nakładanie warstw polimerowych (spincoating, dipcoating)
    • Osadzanie warstw atomowych – ALD
  • Metody wytwarzania wzorów:
    • Litografia optyczna z nanoimprintem
    • Litografia elektronowa
  • Trawienie:
    • Mokre trawienie półprzewodników, tlenków, azotków
    • Reaktywne trawienie plazmowe materiałów na bazie krzemu i półprzewodników złożonych (ICP/RIE)
    • Czyszczenie mokre i plazmowe
  • Procesy Back-end:
    • Obróbka termiczna (wygrzewanie w odpowiedniej atmosferze), szybka obróbka termiczna (RTP).
  • Charakterystyka struktur:
    • Profilometria kontaktowa.
    • Profilometria optyczna
    • Mikroskopia optyczna i elektronowa (SEM)
    • Wytwarzanie mikroprzekrojów zogniskowaną wiązką jonową (FIB)
    • Elipsometia
  • Litografia:
    • SÜSS MicroTecMaskAligner MA8/BA8 z systemem do nanoimprintu
    • Heidelberg Instruments mMLA – litografia laserowa
    • Spincoater (SÜSS MicroTec, Laurell, SPS)
    • Piec do wygrzewania próbek (Binder FD 53)
    • Piec do wygrzewania próbek (Binder FD 56)
  • Trawienie plazmowe:
    • SentechPlasma ICP/RIE SI 500
  • Osadzanie próżniowe/rozpylanie:
    • Moorfield MiniLab 060
    • Moorfield MiniLab 080
    • Prevac
  • Chemiczne osadzanie z fazy gazowej:
    • Sentech PECVD SI 500 D
  • Wygrzewanie:
    • Szybka obróbka termiczna (RTP AS-One 150)
  • Charakteryzacja i pomiary:
    • Mikroskop elektronowy FEI Helios NanoLab 660 z FIB
    • Elipsometr Sentech SE850 DUV
    • Profilometr stykowy Bruker
    • Profilometr optyczny Bruker
    • Mikroskopy inspekcyjne: Leica DM 4000, DM 8000,  Keyence VHX-7000
  • Pomieszczenia Clean Room w klasie ISO 5, ISO 6